[实用新型]一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置有效
| 申请号： | 201721186740.4 | 申请日： | 2017-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN207347172U | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李颖;李宝军;张智;王明月 | 申请（专利权）人： | 安阳市金盛昊新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068;F27D9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 455000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，包括炉体，所述炉体的顶部通过紧固螺栓固定设有端盖，且端盖的顶部分别镶嵌有氨气输入管和换气扇，所述端盖的底部位于换气扇的底端设有电磁阀，所述炉体的内部固定安装有内胆，且内胆的底部安装有加热管，所述内胆与炉体内壁之间固定盘绕有循环冷凝管，且循环冷凝管的表面设有贯穿内胆的出水口，所述炉体的表面底端固定安装有与循环冷凝管一端连接的循环泵，所述内胆的内表面镶嵌有热电偶。该装置结构设计简单合理，操作方便，冷却速度快，安全稳定，节能环保，适用范围广，有效的对氮化硅进行冷却，有利于推广和普及。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 氮化 冷却 装置 | ||
【主权项】：
1.一种生产氮化硅用氮化炉冷却装置，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的顶部通过紧固螺栓（3）固定设有端盖（2），且端盖（2）的顶部分别镶嵌有氨气输入管（6）和换气扇（4），所述端盖（2）的底部位于换气扇（4）的底端设有电磁阀（5），所述炉体（1）的内部固定安装有内胆（7），且内胆（7）的底部安装有加热管（8），所述内胆（7）与炉体（1）内壁之间固定盘绕有循环冷凝管（9），且循环冷凝管（9）的表面设有贯穿内胆（7）的出水口，所述炉体（1）的表面底端固定安装有与循环冷凝管（9）一端连接的循环泵（10），所述内胆（7）的内表面镶嵌有热电偶（11）。
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