[实用新型]一种新型晶圆表面贴膜装置

摘要

本实用新型公开了一种新型晶圆表面贴膜装置，包括底座，底座的后侧固定有两个固定杆，两个固定杆的上端通过转轴转动连接有掀板，掀板的内部转动连接有转盘，转盘的内部开设有滑槽，滑槽的内部滑动连接有切割刀，切割刀的中部固定有两个滑柱，两个滑柱的两端分别滑动连接在位于滑槽两侧壁上的滑道内；拆卸盘活动连接在位于抽盒上表面的圆槽内，拆卸盘底部设有的底柱和位于圆槽底部的圆孔活动卡接。本实用新型通过转盘上设有多组卡槽和滑块底部的卡销活动卡接，实现了可以根据晶圆的大小来改变切割刀的位置，本装置只需要简单的更换拆卸盘便可以对大小不同的晶圆贴膜，贴膜过程相对简单。

主权项

一种新型晶圆表面贴膜装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的后侧固定有两个固定杆(21)，两个固定杆(21)的上端通过转轴(3)转动连接有掀板(2)，所述掀板(2)的内部转动连接有转盘(13)，所述转盘(13)的内部开设有滑槽(12)，所述滑槽(12)的内部滑动连接有切割刀(14)，所述切割刀(14)的中部固定有两个滑柱(19)，两个滑柱(19)的两端分别滑动连接在位于滑槽(12)两侧壁上的滑道(17)内，所述切割刀(14)的上端开设有空腔(141)，所述空腔(141)的腔底连接有弹簧(18)，所述弹簧(18)的上端与滑块(16)固定连接，所述切割刀(14)的上端滑动插接在滑块(16)的内部，所述切割刀(14)的下端和开设在拆卸盘(15)上端面的V型缺口(152)活动连接，且切割刀(14)和V型缺口(152)之间设有薄膜(7)，所述薄膜(7)的一端为薄膜卷(6)，薄膜卷(6)为薄膜(7)组成的卷状物，所述薄膜卷(6)转动连接在V型固定架(5)上，所述V型固定架(5)固定在底座(1)的一侧，所述薄膜(7)远离薄膜卷(6)的另一端卷在卷轴(9)上，所述卷轴(9)转动连接在支架(8)上，所述支架(8)固定在底座(1)远离V型固定架(5)的一侧，所述转盘(13)上且位于滑槽(12)两侧设有多个对称卡槽(11)，所述滑块(16)底面两侧设有卡销(161)，所述卡销(161)与卡槽(11)卡接；所述拆卸盘(15)活动连接在位于抽盒(4)上表面的圆槽(41)内，所述拆卸盘(15)底部设有的底柱(151)和位于圆槽(41)底部的圆孔活动卡接，所述抽盒(4)滑动连接在内腔(101)中，所述内腔(101)设在底座(1)的内部，所述拆卸盘(15)的上表面开设有空槽(153)，且空槽(153)位于V型缺口(152)内侧。