[实用新型]一种密闭式坩埚

摘要

本实用新型涉及一种密闭式坩埚，包括：具有放置材料的腔室的坩埚主体，对坩埚主体的腔室进行覆盖密封的盖板；密闭式坩埚还包括与盖板连接的气压驱动装置，气压驱动装置驱动盖板相对于腔室移动，从而开启和关闭腔室；气体驱动装置包括气缸，气缸内设置有间隔件，间隔件被配置为在气压作用下相对于气缸移动并将气缸分隔成第一气室和第二气室，第一气室设置第一阀门，第二气室设置第二阀门，间隔件上位于第一气室的一侧设置有连接盖板的驱动杆，驱动杆配置为驱动盖板移动进而密闭或开启腔室。本实用新型能够防止材料因为暴露大气而吸附水分或者被氧化而变质，并能保证操作人员的安全。

主权项

1.一种密闭式坩埚，其包括：–具有放置材料的腔室的坩埚主体，–对坩埚主体的腔室进行覆盖密封的盖板；其特征在于，所述密闭式坩埚还包括与所述盖板连接的气压驱动装置，所述气压驱动装置驱动盖板相对于坩埚主体上的腔室移动，从而开启和关闭坩埚主体上的腔室，所述气压驱动装置如下构造：所述气压驱动装置包括气缸，所述气缸内设置有间隔件，所述间隔件被配置为在气压作用下相对于气缸移动并将所述气缸分隔成第一气室和第二气室，所述第一气室设置有与外界联通的第一阀门，所述第二气室设置有与外界联通的第二阀门，所述间隔件上位于第一气室的一侧设置有连接所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体上的腔室。