[实用新型]盲孔化学沉积装置有效
| 申请号： | 201721242469.1 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN207150978U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 徐永伯;黄品椿;朱科星;张长树 | 申请（专利权）人： | 苏州创峰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/42 | 分类号： | H05K3/42 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙)11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 215100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种盲孔化学沉积装置，其包括药液槽，用于盛入药液；传输机构，用于输送基材，其设于所述药液槽内，并包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮组和下输送滚轮组；药液喷射机构，用于向所述基材喷射液体，其包括上水刀和/或下水刀；超音波机构，用于促进盲孔震动以使所述盲孔内的气泡溢出，其包括复数组下超音波组。本实用新型提供的盲孔化学沉积装置通过水刀向基材喷射液体，对基材上的盲孔产生冲击可以使得气泡从盲孔中部分溢出，而下超音波组作用于基材，促进盲孔震动，利用超音波产生的空穴效应把盲孔内的空气泡带出，化锡液能顺利进入盲孔内部，进而达到良好的化学沉积效果。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种盲孔化学沉积装置，其特征在于包括：药液槽，用于盛入药液；传输机构，用于输送基材，其设于所述药液槽内，并包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮组和下输送滚轮组；药液喷射机构，用于向所述基材喷射液体，其包括上水刀和/或下水刀；超音波机构，用于促进盲孔震动以使所述盲孔内的气泡溢出，其包括复数组下超音波组。
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