[实用新型]一种单晶炉的高真空炉体

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉的高真空炉体，包括炉体（1），炉体（1）包括一侧为敞口的炉箱（11），在炉箱（11）的敞口一侧转动连接炉门（12），在接炉门（12）与炉箱（11）的连接处设有第一密封垫，炉体（1）通过第一管道（3）连接真空罐（2），真空罐（2）通过第二管道（6）连接扩散泵（5），扩散泵（5）通过第三管道（8）连接真空泵（7）。本实用新型的优点：本实用新型对传统的单晶炉进行改进，炉体密封效果好，抽真空时多增加了扩散泵，在真空泵对炉体抽真空完成时，对炉体进行二次抽真空，使炉内达到高真空状态，避免炉内混入杂质气体，降低了对铱锅中的原料铱的损耗，间接降低了成本。

主权项

1.一种单晶炉的高真空炉体，其特征在于：包括炉体（1），炉体（1）通过第一管道（3）连接真空罐（2），真空罐（2）通过第二管道（6）连接扩散泵（5），扩散泵（5）通过第三管道（8）连接真空泵（7）；所述炉体（1）包括一侧为敞口的炉箱（11），在炉箱（11）的敞口一侧转动连接炉门（12），在接炉门（12）与炉箱（11）的连接处设有第一密封垫；在所述炉箱（11）上侧设有安装槽（17），安装槽（17）的中心设有让位孔（18）；在所述炉门（12）外侧设有观察窗（19），观察窗（19）中心设有观察孔（14），在观察孔（14）外侧设有透明板（13），在透明板（13）与观察窗（19）之间设有第二密封垫；在所述炉门（12）外侧的四个拐角处均设有用于锁紧炉门（12）的锁紧件（16）。