[实用新型]一种用于硅片研磨的放片取片机构

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片研磨的放片取片机构，包括支撑柱，所述支撑柱的顶部固定安装有研磨机，且研磨机包括第一游星轮、第二游星轮和多个第三游星轮，多个第三游星轮均通过齿轮分别与第一游星轮和第二游星轮转动连接，且第三游星轮的顶部开设有多个放置槽，所述放置槽内放置有硅片本体，且支撑柱的两侧均焊接有固定板，所述固定板的顶部延伸至第二游星轮的上方，且两个固定板的顶部焊接有同一个顶板，所述顶板的底部中央位置固定安装有液压泵。本实用新型结构简单，安装方便，经济实用，通过第三游星轮和放置槽，方便硅片本体的研磨，同时通过机械爪和吸盘，方便取放硅片本体，有效的提高了工作效率。

主权项

一种用于硅片研磨的放片取片机构，包括支撑柱(6)，其特征在于，所述支撑柱(6)的顶部固定安装有研磨机，且研磨机包括第一游星轮(1)、第二游星轮(2)和多个第三游星轮(3)，多个第三游星轮(3)均通过齿轮分别与第一游星轮(1)和第二游星轮(2)转动连接，且第三游星轮(3)的顶部开设有多个放置槽(4)，所述放置槽(4)内放置有硅片本体(5)，且支撑柱(6)的两侧均焊接有固定板(7)，所述固定板(7)的顶部延伸至第二游星轮(2)的上方，且两个固定板(7)的顶部焊接有同一个顶板(8)，所述顶板(8)的底部中央位置固定安装有液压泵(9)，且液压泵(9)的输出轴上焊接有多个连接柱(10)，所述连接柱(10)的底端设有机械爪(11)，且连接柱(10)的底端开设有安装槽(12)，所述安装槽(12)内安装有推杆电机(13)，且推杆电机(13)的输出轴上固定安装有吸盘(14)，所述吸盘(14)与硅片本体(5)相配合。