[实用新型]一种漏斗型Pocket结构的载板有效
| 申请号： | 201721271086.7 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN207199570U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 李高峰;詹国彬 | 申请（专利权）人： | 上海东洋炭素有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/205 | 分类号： | H01L21/205;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京创遇知识产权代理有限公司11577 | 代理人： | 李芙蓉,冯建基 |
| 地址： | 201611 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片的载板，载板上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket，每个Pocket中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket包括直线部分和曲面部分，Pocket的截面为漏斗状，Pocket内用于放置电池片，电池片和载板构成线接触结构，其消除镀膜电池片表面EL黑点，避免载板在自动化放片和取片过程中，将电池片放倾斜、掉片，在传输过程中导致电池片飞出Pocket，减少电池片与载板的直接接触面积，且避免自动化放片不稳定，避免放不正导致的镀膜均匀性受影响，改善电池片镀膜均匀性，提高电池片的转换效率和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 漏斗 pocket 结构 | ||
【主权项】：
一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片(2)的载板(1)，其特征在于，载板(1)上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket(3)，每个Pocket(3)中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket(3)包括直线部分(301)和曲面部分(302)，Pocket(3)的截面为漏斗状，Pocket(3)内用于放置电池片(2)，电池片(2)和载板(1)构成线接触结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
