[实用新型]一种组装纳米小球的设备有效
申请号: | 201721291784.3 | 申请日: | 2017-10-09 |
公开(公告)号: | CN207352983U | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 周国富;辇理;容齐坤 | 申请(专利权)人: | 深圳市国华光电研究院;深圳市国华光电科技有限公司;华南师范大学 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 唐致明 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种组装纳米小球的设备,包括依次设置的放卷系统、拉膜浸镀槽、加热蒸发板、等离子刻蚀机、收卷系统和沿着输送方向设置的若干传动辊,通过控制传动辊的传动速度来调控纳米小球在柔性衬底上组装的均匀性,利用等离子刻蚀机控制所述柔性衬底上组装的纳米小球的密度,同时能够实现大面积和连续化生产,生产效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 组装 纳米 小球 设备 | ||
【主权项】:
1.一种组装纳米小球的设备,其特征在于,包括依次设置的放卷系统、拉膜浸镀槽、加热蒸发板、等离子刻蚀机、收卷系统和沿着输送方向设置的若干传动辊。
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