[实用新型]一种轴承工作状态的检测装置有效
| 申请号： | 201721299268.5 | 申请日： | 2017-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN207300580U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 朱小凡 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/04 | 分类号： | G01M13/04 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种轴承工作状态的检测装置，属于半导体制造技术领域，适用于检测设置于半导体设备内部的轴承的工作状态，所述轴承固定于一基座内，沿所述轴承的轴向于所述基座上设置一通孔；所述检测装置包括标识，对应于所述通孔设置于所述轴承的外圈上；感应开关，形状与所述通孔适配并设置于所述通孔内，所述感应开关的探头朝向所述标识设置；发光二极管，连接所述感应开关的输出端。上述技术方案的有益效果是在半导体设备内的轴承外圈转动时提示工作人员，方便工作人员及时维修轴承，避免因轴承外圈长时间转动导致的半导体设备内的轴承安装基座损坏，以及避免半导体设备的动力部件超负荷运载从而减短动力部件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轴承 工作 状态 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种轴承工作状态的检测装置，适用于检测设置于半导体设备内部的轴承的工作状态，所述轴承固定于一基座内，其特征在于，沿所述轴承的轴向于所述基座上设置一通孔；所述检测装置包括：标识，对应于所述通孔设置于所述轴承的外圈上；感应开关，形状与所述通孔适配并设置于所述通孔内，所述感应开关的探头朝向所述标识设置；发光二极管，连接所述感应开关的输出端。
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