[实用新型]一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统

摘要

本实用新型公开了一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统，包括自动灌装柜、成品储罐自控系统、管路抽空处理装置和PLC控制系统；自动灌装柜内有灌装钢瓶，灌装钢瓶出口管道上有钢瓶灌装阀、灌装管路压力传感器，之后连接于灌装总阀上，灌装总阀与灌装管路总气动阀相连通；管路抽空处理装置包括高纯氦气瓶、真空泵组、管道及阀门；成品储罐自控系统包括成品储罐、气液分离调节阀、汽化器、物料抽空回放装置和PLC控制系统，成品储罐、气液分离调节阀、汽化器和物料抽空回放装置通过管道和阀门形成成品储罐下出上进回路，汽化器下游接有单向阀控制物料流向。该系统能够实现自动维持成品储罐压力平衡，灌装过程物料无损耗。

主权项

1.一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统，包括自动灌装柜(1)、成品储罐自控系统(5)、管路抽空处理装置和PLC控制系统；自动灌装柜内有灌装钢瓶(2)，灌装钢瓶出口管道上有钢瓶灌装阀n、灌装管路压力传感器(12)，之后连接于灌装总阀1上，灌装总阀1与灌装管路总气动阀k相连通；管路抽空处理装置包括高纯氦气瓶(13)、真空泵组(14)、管道及阀门，用于抽空和吹扫灌装管路；成品储罐自控系统(5)包括成品储罐(6)、气液分离调节阀b、汽化器(10)、物料抽空回放装置(11)和PLC控制系统，成品储罐内有冷却盘管，上有进口阀，还安装有液位显示装置(8)和成品储罐压力传感器(9)，成品储罐(6)、气液分离调节阀b、汽化器(10)和物料抽空回放装置(11)通过管道和阀门形成成品储罐下出上进回路，汽化器(10)下游接有单向阀控制物料流向。