[实用新型]一种碳化硅芯片的合格率检测设备有效

专利信息
申请号: 201721307876.6 申请日: 2017-10-11
公开(公告)号: CN207396436U 公开(公告)日: 2018-05-22
发明(设计)人: 陈力颖 申请(专利权)人: 天津力芯伟业科技有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;G01R31/28;G01R31/01
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300000 天津市西青区学府*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型公开了一种碳化硅芯片的合格率检测设备,包括底座、芯片扫描检测设备、检测安装板、放料传送带和芯片卡槽,所述底座的顶部安装有伺服电机,且伺服电机的顶部通过联轴器安装有主动轮,所述放料传送带的上均匀分布有芯片卡槽,所述放料传送带下方的底座上通过电动升降柱安装有透明支撑板,所述检测安装板的顶部安装有探针固定板,所述探针固定板的内部安装有FMSL高频读写板,且FMSL高频读写板的输出端均匀安装有贯穿探针固定板的检测探针。本实用新型相对于传统检测设备,设计合理,操作简单,设置的检测探针以及芯片扫描检测设备可以对芯片进行双重检测,避免漏检的情况,进而提高了检测的质量,同时也提高了合格率检测的质量。
搜索关键词: 一种 碳化硅 芯片 合格率 检测 设备
【主权项】:
1.一种碳化硅芯片的合格率检测设备,包括底座(2)、芯片扫描检测设备(4)、检测安装板(9)、放料传送带(13)和芯片卡槽(18),其特征在于:所述底座(2)的顶部安装有伺服电机(3),且伺服电机(3)的顶部通过联轴器安装有主动轮(14),所述服电机(3)一侧的底座(2)上通过支撑柱(16)安装有从动轮(15),且主动轮(14)与从动轮(15)上安装有放料传送带(13),所述放料传送带(13)的上均匀分布有芯片卡槽(18),所述放料传送带(13)下方的底座(2)上通过电动升降柱(1)安装有透明支撑板(12),且透明支撑板(12)紧贴放料传送带(13)的下表面,所述伺服电机(3)与支撑柱(16)之间的底座(2)上安装有芯片扫描检测设备(4),且芯片扫描检测设备(4)的顶部安装有检测板(6),所述芯片扫描检测设备(4)一侧的底座(2)上安装有电动伸缩柱(11),且电动伸缩柱(11)的顶部安装有检测安装板(9),所述检测安装板(9)的顶部安装有探针固定板(7),所述探针固定板(7)的内部安装有FM1702SL高频读写板(8),且FM1702SL高频读写板(8)的输出端均匀安装有贯穿探针固定板(7)的检测探针(10)。
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