[实用新型]薄膜干燥监测装置有效
| 申请号： | 201721318220.4 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN207199574U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 胡佳;陈颖 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L51/50 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 林青中 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种薄膜干燥监测装置，包括平行光源机构，用于向薄膜的表面发射平行光线；光强检测机构，用于检测所述平行光线经所述薄膜反射后的镜面反射光线的光通量；以及分析处理机构，与所述光强检测机构连接，用于在所述光通量的变化趋于平缓时发出干燥完成信号。该薄膜干燥监测装置通过平行光源机构向薄膜的表面发射平行光线，并通过光强检测机构检测镜面反射光线的光通量，分析处理机构则在光通量的变化趋于平缓时发出干燥完成信号，即可结束干燥，实现对薄膜干燥情况的实时监测，从而可准确地确定薄膜何时干燥完毕，减少不必要的干燥时间，缩短了器件制备周期，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 干燥 监测 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜干燥监测装置，其特征在于，包括：平行光源机构，用于向薄膜的表面发射平行光线；光强检测机构，用于检测所述平行光线经所述薄膜反射后的镜面反射光线的光通量；以及分析处理机构，与所述光强检测机构连接，用于在所述光通量的变化趋于平缓时发出干燥完成信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
