[实用新型]太阳能rena刻蚀机槽体改造结构

摘要

本实用新型公开了一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽和储液罐，在主槽底部开有若干个孔；主槽和副槽的横截面相同，主槽设置在副槽之上；所述副槽放置于外槽中，在外槽的底部设置有溢出孔，溢出孔的开孔位置与副槽的放置位置错开；溢出孔通过细管连接储液罐，储液罐的输出端通过细管连接泵，泵的输出端通过细管连接副槽。本实用新型是改变槽体的结构，泵将储液罐抽至副槽，然后副槽满之后药液通过主槽槽底的多孔溢至主槽，主槽底的孔细小，药液进入主槽比较均匀，且泵从储液罐抽取的空气经过多孔逸出时，无法凝聚成大气泡，气泡基本在副槽里就基本破裂，避免了原横流管冒气泡破裂导致硅片的不良。

主权项

1.一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽(1)和储液罐(7)，其特征是：在主槽(1)底部开有若干个孔(2)；主槽(1)和副槽(3)的横截面相同，主槽(1)设置在副槽(3)之上；所述副槽(3)放置于外槽(4)中，在外槽(4)的底部设置有溢出孔(5)，溢出孔(5)的开孔位置与副槽(3)的放置位置错开；溢出孔(5)通过细管(6)连接储液罐(7)，储液罐(7)的输出端通过细管(6)连接泵(8)，泵(8)的输出端通过细管(6)连接副槽(3)。