[实用新型]阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机有效
| 申请号： | 201721333587.3 | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN207347652U | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王军红;车少锋;郑卫民;王珍 | 申请（专利权）人： | 东莞市典雅五金制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/56 |
| 代理公司： | 东莞众业知识产权代理事务所(普通合伙) 44371 | 代理人： | 何恒韬 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机，其中，阴极弧靶装置包括弧靶体、靶材、引弧系统、滑动杆、滑动密封机构及滑动气缸；所述靶材安装于弧靶体一侧，所述滑动杆可滑动地安装于弧靶体一端，所述滑动气缸与滑动杆相连接，并通过滑动杆带动引弧系统靠近或远离靶材；所述滑动密封机构设置于滑动杆之外，用于对滑动杆进行真空密封；所述滑动密封机构包括波纹管及波纹管架体，所述波纹管架体安装于弧靶体上，所述波纹管的两端焊接于波纹管架体上。本实用新型阴极弧靶装置密封性好、不发生真空泄漏、维护容易、寿命长、结构简单、可靠实用。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 装置 真空 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种阴极弧靶装置，其特征在于：包括弧靶体、靶材、引弧系统、滑动杆、滑动密封机构及滑动气缸；所述靶材安装于弧靶体一侧，所述滑动杆可滑动地安装于弧靶体一端，所述滑动气缸与滑动杆相连接，并通过滑动杆带动引弧系统靠近或远离靶材；所述滑动密封机构设置于滑动杆之外，用于对滑动杆进行真空密封；所述滑动密封机构包括波纹管及波纹管架体，所述波纹管架体安装于弧靶体上，所述波纹管的两端焊接于波纹管架体上。
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