[实用新型]一种可旋转的PECVD镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种可旋转的PECVD镀膜装置，所述镀膜装置具有一矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的前端开口且开口铰接有一可打开的密封门，镀膜空腔的左右侧壁分别固定安装有正对设置的阳极电极板和阴极电极板，所述阳极电极板连接射频电源，所述阴极电极板接地，所述镀膜空腔上下壁之间设置有丝杆，所述丝杆的一端连接一驱动马达，所述丝杆上设置有相配的可上下移动的工件托盘，所述工件托盘包括一个可旋转的大盘和设置于大盘上多个可旋转的小盘，本实用新型的有益效果在于，本镀膜装置能够使待加工产品发生自转、公转、升降复合运动，待加工产品在腔体内充分的接触纳米材料，形成了比较致密和均匀的纳米涂层，涂层的质量有了较大的改善。

主权项

1.一种可旋转的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置内部设有一矩形镀膜空腔，镀膜空腔的前端开口且开口铰接有一可打开的密封门，镀膜空腔的左右侧壁分别固定安装有正对设置的阳极电极板和阴极电极板，所述阳极电极板连接射频电源，所述阴极电极板接地，所述镀膜空腔上下壁之间设置有丝杆，所述丝杆的一端连接一驱动马达，所述丝杆上设置有相配的可上下移动的工件托盘，所述工件托盘包括一个可旋转的大盘和设置于大盘上多个可旋转的小盘。