[实用新型]一种真空腔室内风门的开关门装置有效
申请号: | 201721358278.1 | 申请日: | 2017-10-20 |
公开(公告)号: | CN207436791U | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 舒立杰;杜连合 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | E05F15/627 | 分类号: | E05F15/627;E06B7/16;E06B7/28;E05F15/70 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 100027 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空设备技术领域,尤其涉及一种真空腔室内风门的开关门装置。该开关门装置包括动力机构、第一连接轴、链轮组件以及可拆卸地设于真空腔室外侧壁上的密封结构,所述动力机构和密封结构均位于真空腔室外部,所述链轮组件位于所述真空腔室内部,所述第一连接轴的第一端与所述动力机构的输出轴连接,所述第一连接轴的第二端依次穿过密封结构和真空腔室的外侧壁与所述链轮组件连接以向所述链轮组件传递转矩,所述链轮组件还与真空腔室的风门连接以带动风门开启和关闭。本开关门装置结构简单、成本低廉、开关门方便快捷,有效解决了现有开关门装置密封结构拆装和维护不便的问题,而且不会影响和降低真空腔室的密封效果。 | ||
搜索关键词: | 开关门装置 链轮组件 密封结构 真空腔室 真空腔 动力机构 连接轴 室内风门 外侧壁 本实用新型 输出轴连接 传递转矩 风门开启 密封效果 有效解决 真空设备 第一端 开关门 可拆卸 室内部 室外部 拆装 风门 穿过 维护 | ||
【主权项】:
1.一种真空腔室内风门的开关门装置,其特征在于,包括动力机构、第一连接轴、链轮组件以及可拆卸地设于真空腔室外侧壁上的密封结构,所述动力机构和密封结构均位于真空腔室外部,所述链轮组件位于所述真空腔室内部,所述第一连接轴的第一端与所述动力机构的输出轴连接,所述第一连接轴的第二端依次穿过所述密封结构和真空腔室的外侧壁与所述链轮组件连接以向所述链轮组件传递转矩,所述链轮组件还与所述真空腔室的风门连接以带动风门开启和关闭。
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