[实用新型]一种半导体晶圆厂房气体监控系统有效
| 申请号： | 201721398777.3 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN207557198U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 罗小盛 | 申请（专利权）人： | 罗小盛 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G08C17/02 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 徐杨松 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体晶圆厂房气体监控系统，其包括多个区域监测单元、监控单元和云管理平台，每个区域监测单元均包括控制器和多个气体传感器，气体传感器采集气体浓度信息；控制器收集气体浓度信息；监控单元与多个控制器连接；云管理平台与监控单元连接；控制器与其区域内的多个气体传感器之间、控制器与监控单元之间之间均通过以太网端口连接。本实用新型的有益效果是：根据半导体晶圆厂房气体及设备区域性比较强的特点，采用按区域划分的方法，通过以太网进行组网，并逐级向上进行信息汇总，具有组网方便，配置简单，层次结构清晰，可靠性高，后期扩展维护方便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 监控单元 控制器 半导体晶圆 气体传感器 气体监控系统 气体浓度信息 本实用新型 管理平台 区域监测 厂房 组网 多个控制器 以太网端口 层次结构 维护方便 信息汇总 区域性 以太网 采集 清晰 配置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体晶圆厂房气体监控系统，其特征在于：包括多个区域监测单元(1)、监控单元(2)和云管理平台(3)，每个所述区域监测单元(1)均包括设置于一个区域内的控制器(11)和多个气体传感器(12)，所述控制器(11)与所述区域内的多个所述气体传感器(12)连接；所述监控单元(2)与多个所述控制器(11)连接，所述云管理平台(3)与所述监控单元(2)连接，用于存储气体浓度信息；其中，所述控制器(11)与其区域内的多个所述气体传感器(12)之间,以及所述控制器(11)与所述监控单元(2)之间均通过以太网端口连接；所述监控单元(2)包括监控服务器(21)和多个监控客户端(22)，所述监控服务器(21)分别与所述控制器(11)、所述监控客户端(22)和所述云管理平台(3)连接；多个监控客户端(22)均与监控服务器(21)之间通过局域网连接，用于实时显示气体浓度信息，并提供人机界面以向每个区域监测单元(1)输入控制指令；每个所述区域监测单元(1)还包括与其区域内的所述气体传感器(12)相对应的多个执行器(13)，所述控制器(11)与其区域内的多个所述执行器(13)之间通过以太网端口连接。
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