[实用新型]一种适用于太阳能电池硅片的扩散装置

摘要

本实用新型公开了一种适用于太阳能电池硅片的扩散装置，包括扩散炉、设置于所述扩散炉内的石英舟、伸入所述扩散炉内用于通入扩散气体的进气管和排出扩散尾气的尾气管，所述进气管和所述尾气管分别设置于所述石英舟的上下两侧并沿着所述石英舟的长度方向设置，所述尾气管的对应于所述石英舟的两个端部的位置处开设有若干抽气孔，所述石英舟的两个端部设置有可拆卸的挡板，所述挡板靠近所述石英舟的外侧的硅片设置，且所述挡板和该硅片之间的间距与相邻两个硅片之间的间距一致。该扩散装置，能够有效降低石英舟的两侧部的扩散气体，提高两侧部硅片方阻，从而解决了由于方阻异常偏低导致的低效问题。

主权项

1.一种适用于太阳能电池硅片的扩散装置，包括扩散炉(1)、设置于所述扩散炉(1)内的石英舟(2)、伸入所述扩散炉(1)内用于通入扩散气体的进气管(3)和排出扩散尾气的尾气管(4)，其特征在于，所述进气管(3)和所述尾气管(4)分别设置于所述石英舟(2)的上下两侧并沿着所述石英舟(2)的长度方向设置，所述尾气管(4)的对应于所述石英舟(2)的两个端部的位置处开设有若干抽气孔(41)，所述石英舟(2)的两个端部设置有可拆卸的挡板(5)，所述挡板(5)靠近所述石英舟(2)的外侧的硅片设置，且所述挡板(5)和该硅片之间的间距与相邻两个硅片之间的间距一致。