[实用新型]硅片切割防掉片下料装置有效
申请号: | 201721417130.0 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN207344888U | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 刘勇;廉典芊 | 申请(专利权)人: | 河南省博宇新能源有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D5/04 |
代理公司: | 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 | 代理人: | 余炎锋 |
地址: | 451200 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型属于硅片切割技术领域。一种硅片切割防掉片下料装置,包括底座、立柱和支撑悬臂,所述立柱固定设置在底座上,且所述立柱上设置有滑动轨道,所述滑动轨道内匹配设置有滑移块,且在立柱上设有驱动滑移块的升降机构;所述支撑悬臂固定设置在滑移块上,所述支撑悬臂下部设置有硅片上料台,所述硅片上料台与支撑悬臂之间枢接设置有至少两组平行连杆,所述滑移块上设置有驱动硅片上料台前后摆动的摆动机构,所述硅片通过晶托匹配卡合固定在硅片上料台上;所述支撑悬臂上还设置有防掉片组件。本实用新型不仅能够有效的提高硅片在上下料过程中的安全性能,而且便于操作,此外,本申请还能够实现减震缓冲作用,使得硅片的输送更加平稳。 | ||
搜索关键词: | 硅片 切割 防掉片下料 装置 | ||
【主权项】:
1.一种硅片切割防掉片下料装置,其特征在于,包括:底座;立柱,所述立柱固定设置在底座上,且所述立柱上设置有滑动轨道,所述滑动轨道内匹配设置有滑移块,且在立柱上设有驱动滑移块的升降机构;和支撑悬臂,所述支撑悬臂固定设置在滑移块上,所述支撑悬臂下部设置有硅片上料台,所述硅片上料台与支撑悬臂之间枢接设置有至少两组平行连杆,所述滑移块上设置有驱动硅片上料台前后摆动的摆动机构,硅片通过晶托匹配卡合固定在硅片上料台上;所述支撑悬臂上还设置有防掉片组件,所述防掉片组件包括枢接设置在支撑悬臂两侧的两组伸缩臂、设置在伸缩臂的下端部的撑杆和设置在伸缩臂上端的旋转机构,所述旋转机构驱动伸缩臂旋转摆动,当硅片切割完成后,向下拉动撑杆,伸缩臂延长,撑杆撑托硅片下侧防止掉片。
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