[实用新型]一种用于坩埚口部自动涂层的设备

摘要

一种用于坩埚口部自动涂层的设备，包括坩埚喷涂机和喷涂系统；坩埚喷涂机包括涂层间、机台以及电动机，涂层间固定在机台上部，电动机固定在机台下部；涂层间内设置有挡板、圆形转盘、法兰盘以及主轴；在坩埚倒扣时挡板位于坩埚口部，圆形转盘设置有多个坩埚支脚，坩埚支脚均匀布置在圆形转盘上平面，主轴上部连接挡板，中部通过法兰盘与圆形转盘固定连接，主轴下端连接转动轮通过皮带与固定在机台的下部的电动机连接；喷涂系统包括气压泵、导气管以及第一喷枪和第二喷枪；气压泵通过导气管分别于第一喷枪、第二喷枪和挡板连接。本实用新型在坩埚口部喷涂一种物质增加坩埚强度，保证了拉制单晶硅的质量和合格率，并降低了坩埚喷涂成本。

主权项

1.一种用于坩埚口部自动涂层的设备，其特征在于，包括坩埚喷涂机和喷涂系统；所述坩埚喷涂机包括涂层间、机台、电动机，所述涂层间固定在所述机台上部，所述电动机固定在所述机台下部；所述涂层间内设置有挡板、圆形转盘、法兰盘以及主轴；所述挡板为能够水平收缩的挡板；所述主轴为空心主轴；所述挡板的底部中心与主轴上端固定连接，所述主轴下端连接转动轮，所述转动轮由电动机通过传动皮带带动旋转；所述法兰盘位于所述圆形转盘中间，所述圆形转盘与所述法兰盘固定连接，所述主轴贯穿于所述法兰盘和所述机台中部，所述法兰盘固定在所述主轴中间段；所述挡板上还设置有多个坩埚支脚；所述坩埚支脚均匀布置在所述圆形转盘上平面，坩埚倒扣在所述圆形转盘上并由所述坩埚支脚固定；所述喷涂系统包括气压泵、导气管以及第一喷枪和第二喷枪；所述气压泵通过导气管分别与所述第一喷枪、第二喷枪和主轴下端连接；所述第一喷枪贯穿所述机台和法兰盘进入涂层间，喷枪头朝向倒扣坩埚内侧的口部；所述第二喷枪穿过涂层间外壳，喷枪头朝向倒扣坩埚外侧。