[实用新型]一种单晶炉导流筒有效
| 申请号： | 201721443022.0 | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN207760444U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 陈钦强 | 申请（专利权）人： | 青海日晶光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都元信知识产权代理有限公司 51234 | 代理人： | 孙法胜 |
| 地址： | 817099 青海省海西蒙古族*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉导流筒，包括外筒和内筒，所述内筒套设在外筒内，外筒和内筒之间设置有连接结构，所述内筒通过连接结构固定设置在外筒内。本实用新型中的导流筒采用内筒和外筒的组合结构，通过在内筒和外筒之间设置连接结构连接内筒和外筒，当导流筒在使用过程中内筒或外筒发生破裂时，导流筒不会掉入石英坩埚内，很好的解决了单晶硅生产过程中存在的问题，避免了生产过程中对原料造成的污染，提高了生产效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 外筒 导流筒 内筒 连接结构 本实用新型 单晶炉 单晶硅生产 固定设置 连接内筒 生产过程 生产效率 石英坩埚 组合结构 内筒套 中内筒 生产成本 破裂 污染 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉导流筒，其特征在于：包括外筒和内筒，所述内筒套设在外筒内，外筒和内筒之间设置有连接结构，所述内筒通过连接结构固定设置在外筒内；所述连接结构包括设置在内筒一端端部的多个卡扣和设置在外筒一端内壁上的卡板，所述卡扣分别卡在卡板上；所述内筒另一端设置有向外延伸的内筒法兰；所述外筒另一端设置有向外延伸的外筒法兰，内筒法兰与外筒法兰相配合；所述外筒法兰和内筒法兰上对应设置有定位孔，所述定位孔内设置有定位销。
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