[实用新型]用于激光退火工程的供气系统有效
| 申请号： | 201721457405.3 | 申请日： | 2017-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN207555208U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 成奎栋 | 申请（专利权）人： | 伊欧激光科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02 |
| 代理公司： | 苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301 | 代理人： | 陆彩霞;周斌 |
| 地址： | 215217 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于激光退火工程的供气系统，包括退火室和为所述退火室提供惰性气体的气箱，所述退火室与气箱之间通过供气管连接，还包括收集所述退火室内排出气体的气体分离单元，所述气体分离单元分别通过回气管与连接气管与所述退火室、气箱连接以向退火室内形成循环供气。本实用新型不仅具有较高的稳定性，并且由于回收利用了从退火室内排出的惰性气体，大大减少了退火工程中惰性气体的消耗量，节约资源的同时降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 退火 退火室 惰性气体 气箱 气体分离单元 本实用新型 供气系统 激光退火 室内 回收利用 节约资源 连接气管 排出气体 供气管 回气管 消耗量 排出 供气 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光退火工程的供气系统，包括退火室(1)和为所述退火室(1)提供惰性气体的气箱(2)，所述退火室(1)与气箱(2)之间通过供气管(12)连接，其特征在于：还包括收集所述退火室(1)内排出气体的气体分离单元(3)，所述气体分离单元(3)分别通过回气管(13)与连接气管与所述退火室(1)、气箱(2)连接以向退火室(1)内形成循环供气。
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