[实用新型]一种用于砷化镓生产的热场装置有效
申请号: | 201721475709.2 | 申请日: | 2017-11-07 |
公开(公告)号: | CN207418915U | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 王文昌;于会永;张军军;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋 | 申请(专利权)人: | 大庆佳昌晶能信息材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/42 | 分类号: | C30B29/42;C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 163000 黑龙江省大庆*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种用于砷化镓生产的热场装置,涉及砷化镓生产设备领域,包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒,电加热筒上设有用于将电加热筒连接在电路中的电极,所述的保温筒的下沿设置有托环,托环的外沿连接有吊绳,所述的炉体内侧的上沿设置有挂钩,所述的吊绳的上端挂在挂钩上,所述的保温筒的下方设置有保温板,保温筒的下沿设置有截面为梯形的环形凸起,环形凸起插装在保温板上的凹槽内,所述的电极的外侧设置有圆锥面,该圆锥面与保温板上的圆锥孔相匹配,从而实现对电加热筒的定位。本实用新型在保温筒底部设置了托环,通过吊绳可将托环连同保温筒一同吊起,与现有技术相比,可有效避免保温筒的损伤。 | ||
搜索关键词: | 保温筒 电加热筒 托环 保温板 砷化镓 吊绳 环形凸起 热场装置 圆锥面 电极 炉体 下沿 本实用新型 生产设备 外侧设置 坩埚托架 挂钩 导流筒 圆锥孔 上端 插装 吊起 外沿 坩埚 匹配 电路 损伤 生产 | ||
【主权项】:
1.一种用于砷化镓生产的热场装置,包括炉体(1)、保温筒(3)、电加热筒(4)、坩埚托架(9)、坩埚(5)和导流筒(8),电加热筒(4)上设有用于将电加热筒(4)连接在电路中的电极(2),其特征在于:所述的保温筒(3)的下沿设置有托环(12),托环(12)的外沿连接有吊绳(6),所述的炉体(1)内侧的上沿设置有挂钩(7),所述的吊绳(6)的上端挂在挂钩(7)上,所述的保温筒(3)的下方设置有保温板(13),保温筒(3)的下沿设置有截面为梯形的环形凸起(10),环形凸起(10)插装在保温板(13)上的凹槽内,从而实现对保温筒(3)的固定,所述的电极(2)的外侧设置有圆锥面(11),该圆锥面(11)与保温板(13)上的圆锥孔相匹配,从而实现对电加热筒(4)的定位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大庆佳昌晶能信息材料有限公司,未经大庆佳昌晶能信息材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201721475709.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种硅锭浇注成型设备
- 下一篇:一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置