[实用新型]一种用于砷化镓生产的热场装置有效

专利信息
申请号: 201721475709.2 申请日: 2017-11-07
公开(公告)号: CN207418915U 公开(公告)日: 2018-05-29
发明(设计)人: 王文昌;于会永;张军军;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋 申请(专利权)人: 大庆佳昌晶能信息材料有限公司
主分类号: C30B29/42 分类号: C30B29/42;C30B35/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 163000 黑龙江省大庆*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种用于砷化镓生产的热场装置,涉及砷化镓生产设备领域,包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒,电加热筒上设有用于将电加热筒连接在电路中的电极,所述的保温筒的下沿设置有托环,托环的外沿连接有吊绳,所述的炉体内侧的上沿设置有挂钩,所述的吊绳的上端挂在挂钩上,所述的保温筒的下方设置有保温板,保温筒的下沿设置有截面为梯形的环形凸起,环形凸起插装在保温板上的凹槽内,所述的电极的外侧设置有圆锥面,该圆锥面与保温板上的圆锥孔相匹配,从而实现对电加热筒的定位。本实用新型在保温筒底部设置了托环,通过吊绳可将托环连同保温筒一同吊起,与现有技术相比,可有效避免保温筒的损伤。
搜索关键词: 保温筒 电加热筒 托环 保温板 砷化镓 吊绳 环形凸起 热场装置 圆锥面 电极 炉体 下沿 本实用新型 生产设备 外侧设置 坩埚托架 挂钩 导流筒 圆锥孔 上端 插装 吊起 外沿 坩埚 匹配 电路 损伤 生产
【主权项】:
1.一种用于砷化镓生产的热场装置,包括炉体(1)、保温筒(3)、电加热筒(4)、坩埚托架(9)、坩埚(5)和导流筒(8),电加热筒(4)上设有用于将电加热筒(4)连接在电路中的电极(2),其特征在于:所述的保温筒(3)的下沿设置有托环(12),托环(12)的外沿连接有吊绳(6),所述的炉体(1)内侧的上沿设置有挂钩(7),所述的吊绳(6)的上端挂在挂钩(7)上,所述的保温筒(3)的下方设置有保温板(13),保温筒(3)的下沿设置有截面为梯形的环形凸起(10),环形凸起(10)插装在保温板(13)上的凹槽内,从而实现对保温筒(3)的固定,所述的电极(2)的外侧设置有圆锥面(11),该圆锥面(11)与保温板(13)上的圆锥孔相匹配,从而实现对电加热筒(4)的定位。
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