[实用新型]一种砷化镓晶片取放装置

摘要

一种砷化镓晶片取放装置，涉及砷化镓生产设备领域，包括夹臂A和夹臂B，二者的中部铰接相连形成钳形夹持机构，夹臂A和夹臂B的铰接轴处设置有使钳形夹持机构的钳口夹紧的扭力弹簧，夹臂A上与钳口对应的区段设置有软垫，所述的夹臂B上与钳口对应的区段设置有滑杆，滑杆滑动安装在夹臂B上的孔内，滑杆的一端铰接有夹紧块，滑杆的另一端设置有辊子，其中，夹紧块设置在夹臂B的内侧，所述的滑杆上套有可使夹紧块向远离夹臂A的方向运动的弹簧A。本实用新型采用了以滑杆和皮带为特征的夹紧机构，通过夹紧块的移动实现晶片的夹紧，晶片夹紧过程中，由与夹紧块施加的夹紧力是柔性的，因此对晶片的冲击极小，有效避免晶片被划伤损坏。

主权项

一种砷化镓晶片取放装置，包括夹臂A(4)和夹臂B(5)，二者的中部铰接相连形成钳形夹持机构，夹臂A(4)和夹臂B(5)的铰接轴处设置有使钳形夹持机构的钳口夹紧的扭力弹簧，其特征在于：所述的夹臂A(4)上与钳口对应的区段设置有软垫(2)，所述的夹臂B(5)上与钳口对应的区段设置有滑杆(12)，滑杆(12)滑动安装在夹臂B(5)上的孔内，滑杆(12)的一端铰接有夹紧块(13)，滑杆(12)的另一端设置有辊子(10)，其中，夹紧块(13)设置在夹臂B(5)的内侧，辊子(10)设置在夹臂B(5)的外侧，所述的滑杆(12)上套有可使夹紧块(13)向远离夹臂A(4)的方向运动的弹簧A(11)，夹臂B(5)的外侧设置有螺钉安装板(14)，螺钉安装板(14)上安装有螺钉A(7)，夹臂B(5)的外侧还设置有皮带(9)，皮带(9)的一端固定连接在夹臂B(5)的端部，皮带(9)的另一端绕过所述的辊子(10)后通过弹簧B(8)与螺钉A(7)的末端连接，所述的夹臂A(4)上位于钳口的一端设置有劈尖(1)。