[实用新型]一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置

摘要

一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置包括待处理的电池片、位于电池片上方的喷淋装置及抽气装置，所述喷淋装置为两组呈相对设置的喷淋装置，所述电池片置于两组喷淋装置之间，所述两组喷淋装置的两侧端均设置有抽气装置，在两组喷淋装置及四组抽气装置运行状态下，抽气口设置在外侧，增加了气氛区的面积，使硅片在气氛区的时间变长，电池边缘及侧面受到钝化气体的处理更充分，从而钝化效果更好，增加钝化气体与电池片的接触次数，增加钝化效果，特别是对电池背面的边缘裸露区域以及电极与铝背场之间的裸露区域，实现了电池背面和侧面的全钝化。

主权项

1.一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置，包括待处理的电池片、位于电池片上方的喷淋装置及抽气装置，其特征在于所述喷淋装置为两组呈相对设置的喷淋装置，所述电池片置于两组喷淋装置之间，所述两组喷淋装置的两侧端均设置有抽气装置，在两组喷淋装置及四组抽气装置运行状态下，抽气装置对喷淋装置所喷淋的气体进行干扰，分别在电池片上方及电池片下方形成气氛区，从而对电池片双面进行有效钝化。