[实用新型]一种高效有机蒸发坩埚清洗系统

摘要

本实用新型公开了一种高效有机蒸发坩埚清洗系统，包括清洗机架和设置在清洗机架上的清洗装置和控制装置，系统中还设有与清洗机架连接的清洗液槽和清洗仓，清洗仓的上端设有与其内腔相连通的进液管、出液管和旋转轴孔，其下端开口；清洗装置包括旋转机构和刷头，旋转机构贯穿所述旋转轴孔，且与位于清洗仓内的所述刷头可拆卸连接；所述清洗液槽中设有进液腔和出液腔，进液管和出液管分别通过一输送泵与出液腔和进液腔对应连通，控制装置分别与输送泵和旋转机构电性连接；需清洗的坩埚一端由清洗仓的开口推入清洗仓中，进液管和刷头伸入坩埚中执行旋转刷洗。本实用新型的清洗装置中的刷头与旋转机构可拆卸连接，可根据坩埚的形状更换对应的刷头形状，实现不同种类坩埚的独立、可控的定制化清洗。

主权项

一种高效有机蒸发坩埚清洗系统，包括清洗机架(1)和设置在所述清洗机架(1)上的清洗装置(2)和控制装置(3)，其特征在于，所述系统中还设有与所述清洗机架(1)连接的清洗液槽(4)和清洗仓(5)，所述清洗仓(5)的上端设有与其内腔相连通的进液管(6)、出液管(7)和旋转轴孔(8)，其下端开口；所述清洗装置(2)包括旋转机构(21)和刷头(22)，所述旋转机构(21)贯穿所述旋转轴孔(8)，且与位于所述清洗仓(5)内的所述刷头(22)可拆卸连接；所述清洗液槽(4)中设有进液腔(41)和出液腔(42)，所述进液管(6)和出液管(7)分别通过一输送泵(9)与所述出液腔(42)和进液腔(41)对应连通，所述控制装置(3)分别与所述的输送泵(9)和旋转机构(21)电性连接；需清洗的坩埚(10)一端由所述清洗仓(5)的开口推入所述清洗仓(5)中，所述进液管(6)和刷头(22)伸入坩埚(10)中执行旋转刷洗。