[实用新型]干式蚀刻机有效
| 申请号： | 201721508322.2 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN207487966U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王雪刚;寇鸿斌;喻如军 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/02 | 分类号： | G01M13/02;F16D3/06;F16D3/56;F16D3/58 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张润 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种干式蚀刻机。干式蚀刻机包括电机、固定在电机的输出轴上的联轴器、固定在传动轴上的可变电容和传感器。传感器位于可变电容及联轴器之间，传感器用于在电机工作时检测传动轴是否转动，并在传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。本实用新型的干式蚀刻机中，当联轴器出现断裂等故障时，联轴器无法传递扭矩，从而无法带动传动轴转动，传感器在传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号，如此，这样可以提醒用户及时更换联轴器以使得干式蚀刻机能正常运行。 | ||
| 搜索关键词： | 联轴器 干式蚀刻机 传动轴 传感器 本实用新型 输出联轴器 电机 断裂信号 可变电容 停止转动 传动轴转动 传递扭矩 干式蚀刻 提醒用户 输出轴 转动 断裂 检测 | ||
【主权项】：
一种干式蚀刻机，其特征在于，包括：电机；固定在所述电机的输出轴上的联轴器；固定连接所述联轴器的传动轴；固定在所述传动轴上的可变电容；和传感器，所述传感器位于所述可变电容及所述联轴器之间，所述传感器用于在所述电机工作时检测所述传动轴是否转动，并在所述传动轴停止转动时输出联轴器断裂信号。
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