[实用新型]一种压电谐振器有效
申请号: | 201721512611.X | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN207339804U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 何军;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 安徽云塔电子科技有限公司 |
主分类号: | H03H9/15 | 分类号: | H03H9/15;H03H3/04;H03H3/10 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种压电谐振器。其中,压电谐振器包括:衬底,所述衬底的上表面形成有一凹槽;第一压电层,覆盖于所述衬底的上表面以及所述凹槽的开口,以使所述凹槽与所述第一压电层形成空腔;第一电极和温度补偿层,设置在所述第一压电层远离所述衬底的一侧,在垂直于所述衬底的方向上,所述第一电极在所述衬底上的投影位于所述凹槽所在的区域。本实用新型实施例通过在衬底的上表面形成有一凹槽,使凹槽与第一压电层形成空腔,可以有效避免了声波能量泄漏到衬底中,降低了声波能量在衬底中的损耗,可得到高Q值的压电谐振器;并且设置的温度补偿层的投影位于空腔的区域内,可以有效改善温度补偿效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 谐振器 | ||
【主权项】:
1.一种压电谐振器,其特征在于,包括:衬底,所述衬底的上表面形成有一凹槽;第一压电层,覆盖于所述衬底的上表面以及所述凹槽的开口,以使所述凹槽与所述第一压电层形成空腔;第一电极和温度补偿层,设置在所述第一压电层远离所述衬底的一侧,在垂直于所述衬底的方向上,所述第一电极在所述衬底上的投影位于所述凹槽所在的区域。
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