[实用新型]一种压电谐振器有效

专利信息
申请号: 201721512611.X 申请日: 2017-11-14
公开(公告)号: CN207339804U 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 何军;其他发明人请求不公开姓名 申请(专利权)人: 安徽云塔电子科技有限公司
主分类号: H03H9/15 分类号: H03H9/15;H03H3/04;H03H3/10
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 230088 安徽省合肥市高新区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型实施例公开了一种压电谐振器。其中,压电谐振器包括:衬底,所述衬底的上表面形成有一凹槽;第一压电层,覆盖于所述衬底的上表面以及所述凹槽的开口,以使所述凹槽与所述第一压电层形成空腔;第一电极和温度补偿层,设置在所述第一压电层远离所述衬底的一侧,在垂直于所述衬底的方向上,所述第一电极在所述衬底上的投影位于所述凹槽所在的区域。本实用新型实施例通过在衬底的上表面形成有一凹槽,使凹槽与第一压电层形成空腔,可以有效避免了声波能量泄漏到衬底中,降低了声波能量在衬底中的损耗,可得到高Q值的压电谐振器;并且设置的温度补偿层的投影位于空腔的区域内,可以有效改善温度补偿效率。
搜索关键词: 一种 压电 谐振器
【主权项】:
1.一种压电谐振器,其特征在于,包括:衬底,所述衬底的上表面形成有一凹槽;第一压电层,覆盖于所述衬底的上表面以及所述凹槽的开口,以使所述凹槽与所述第一压电层形成空腔;第一电极和温度补偿层,设置在所述第一压电层远离所述衬底的一侧,在垂直于所述衬底的方向上,所述第一电极在所述衬底上的投影位于所述凹槽所在的区域。
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