[实用新型]一种残余化学气体的处理装置

摘要

本实用新型公开了一种残余化学气体的处理装置，所述处理装置包括：壳体，所述壳体的一端设置有进气口，所述壳体的另一端设置有出气口，所述进气口与残余化学气体的进气管连通，所述出气口与排气管连通；弯曲的流体通道，所述流体通道设置在所述壳体内，并沿所述壳体的轴线方向延伸，且所述流体通道的两端分别与所述进气口和所述出气口连通；和加热部件，所述加热部件用于加热所述弯曲的流体通道。采用本实用新型的残余化学气体的处理装置可以有效除去化学工艺中的残余化学气体尾气，减少了尾气对后续设备的污染、腐蚀、堵塞等情况，而且降低了尾气处理成本。

主权项

1.一种残余化学气体的处理装置，其特征在于，所述处理装置包括：壳体，所述壳体的一端设置有进气口，所述壳体的另一端设置有出气口，所述进气口设置为与残余化学气体的进气管连通，所述出气口设置为与排气管连通；弯曲的流体通道，所述流体通道设置在所述壳体内，并沿所述壳体的轴线方向延伸，且所述流体通道的两端分别与所述进气口和所述出气口连通；和加热部件，所述加热部件用于加热所述弯曲的流体通道。