[实用新型]一种单晶炉稳定热场

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉稳定热场，包括导流筒、坩埚和加热器，导流筒最外层设有外筒，外筒内侧设有内筒，内筒的内侧设有钼屏，钼屏内部为导流通道，导流筒底部设有导流板，坩埚内部架设有环形钼屏，其外部平行设置有加热器。本实用新型在生产中的热屏中间加上一层钼屏，此方法可以在生产中加大热场的横向梯度，造成热屏中间的温度略低于石英坩埚四周的温度，且温度稳定为晶棒长晶提供有利条件，更能提高长晶的速度，提高了生产效率；在坩埚外部平行设置有加热器，在生产过程中可增加热场的稳定性，更能弥补在氩气流量对热场热量的消耗，有利于稳定的温度，且晶棒长晶过程减少晶棒位错的形成，提高了晶棒的品质。

主权项

1.一种单晶炉稳定热场，其特征在于：包括导流筒（10）、坩埚（20）和加热器（30），所述导流筒（10）最外层设有外筒（15），所述外筒（15）内侧设有内筒（14），所述内筒（14）顶部向外弯曲形成钩部，所述钩部与所述外筒（15）固定连接，所述内筒（14）的内侧设有钼屏（12），所述钼屏（12）内部为导流通道（13），所述导流筒（10）底部设有导流板（17），所述导流板（17）通过连接机构（11）与所述外筒（15）的下端凸出部固定连接，所述导流板（17）与所述导流通道（13）之间设有隔板（16），所述坩埚（20）内部架设有环形钼屏（23），其外部平行设置有加热器（30），所述加热器（30）最外侧设有保温屏（31），所述保温屏（31）内部设有加热管（32），所述加热管（32）之间通过弧形固定杆（34）连接。