[实用新型]一种多晶硅抛光装置有效
| 申请号： | 201721532630.9 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN207431971U | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 何晓东 | 申请（专利权）人： | 浙江启瑞电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B47/12;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 324300 浙江省衢州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型主要涉及一种多晶硅抛光装置，属于机械加工领域，包括精抛光装置和粗抛光装置，所述精抛光装置包括固定电动机，所述固定电动机通过伸缩杆穿过固定板与多晶硅固定板相连，所述固定板通过固定杆装有电动机固定板，所述电动机固定板下端左右对称装有粗细磨混合砂轮电动机、抛光砂轮电动机，所述粗细磨混合砂轮电动机下端装有粗细磨混合砂轮，所述抛光砂轮电动机下端装有抛光砂轮，所述抛光砂轮下端设有工作台。本专利结构简单，方便、实用的而且可以自动对多晶硅进行抛光加工的多晶硅抛光装置，有利于提高加工速率，减少人工成本，提高生产效益。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅 抛光砂轮 电动机 下端 混合砂轮 抛光装置 固定板 电动机固定板 固定电动机 精抛光 机械加工领域 本实用新型 抛光加工 人工成本 专利结构 左右对称 粗抛光 固定杆 伸缩杆 工作台 穿过 加工 生产 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅抛光装置，其特征在于，包括精抛光装置（12）和粗抛光装置（13），所述精抛光装置（12）包括固定电动机（1），所述固定电动机（1）通过伸缩杆（2）穿过固定板（3）与多晶硅固定板（6）相连，所述固定板（3）通过固定杆（4）装有电动机固定板（5），所述电动机固定板（5）下端左右对称装有粗细磨混合砂轮电动机（7）、抛光砂轮电动机（9），所述粗细磨混合砂轮电动机（7）下端装有粗细磨混合砂轮（8），所述抛光砂轮电动机（9）下端装有抛光砂轮（10），所述抛光砂轮（10）下端设有工作台（11）。
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