[实用新型]一种抛光研磨机的上盘水冷机构有效
申请号: | 201721540703.9 | 申请日: | 2017-11-15 |
公开(公告)号: | CN207387447U | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 李创宇;范镜;张彦志 | 申请(专利权)人: | 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 |
主分类号: | B24B55/03 | 分类号: | B24B55/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种抛光研磨机的上盘水冷机构,包括进水组件,进水组件包括套筒和三个水封,套筒松套在上盘连接轴的中部;水封安装在套筒的内孔中,沿上盘连接轴的轴向将套筒的内腔分隔成两个环形腔;上盘连接轴包括两条轴向水道,轴向水道包括上出入口和下出入口,轴向水道的上出入口位于上盘连接轴的上部,第一轴向水道的下出入口与第一环形腔连通,第二轴向水道的下出入口与第二环形腔连通;套筒包括两个出入口,套筒的第一出入口与第一环形腔连通,套筒的第二出入口与第二环形腔连通;套筒的两个出入口分别通过管道与上盘冷却水套的出入口连通。本实用新型的进水组件结构简单,占用设备的轴向尺寸较小,可以降低设备的尺寸和成本。 | ||
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【主权项】:
1.一种抛光研磨机的上盘水冷机构,包括进水组件,抛光研磨机包括机架、上盘升降机构和上盘,上盘升降机构包括提升气缸和上盘连接轴,提升气缸通过上盘连接轴与上盘连接;上盘包括冷却水套,冷却水套通过管道与进水组件连接;其特征在于,进水组件包括套筒和三个水封,套筒松套在上盘连接轴的中部;水封安装在套筒的内孔中,三个水封的内缘与上盘连接轴适配,沿上盘连接轴的轴向将套筒的内腔分隔成两个环形腔;上盘连接轴包括两条轴向水道,轴向水道包括上出入口和下出入口,轴向水道的上出入口位于上盘连接轴的上部,第一轴向水道的下出入口与第一环形腔连通,第二轴向水道的下出入口与第二环形腔连通;套筒包括两个出入口,套筒的第一出入口与第一环形腔连通,套筒的第二出入口与第二环形腔连通;套筒的两个出入口分别通过管道与上盘冷却水套的出入口连通。
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