[实用新型]一种硅片冷却装置有效
| 申请号： | 201721542815.8 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN207676883U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 杨健;党继东 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片冷却装置，涉及太阳能电池技术领域。硅片冷却装置包括箱体，所述箱体内放置承载硅片的石英舟，所述箱体的顶板和底板均设置有多个进气口，所述进气口通过进气管与进气装置连通，所述箱体相对的两个侧壁上均设置有排气口，所述排气口通过排气管与抽气装置连通。该硅片冷却装置中，箱体的顶板和底板均设置有进气口，氮气由硅片的上下两个方向与硅片接触，加快了箱体内的气体流动，加快了硅片与气体的热量传递，缩短了硅片的冷却时间，提高了太阳能电池片的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 冷却装置 进气口 底板 排气口 连通 太阳能电池技术 太阳能电池片 氮气 本实用新型 抽气装置 进气装置 气体流动 热量传递 生产效率 进气管 排气管 石英舟 侧壁 冷却 承载 | ||
【主权项】：
1.一种硅片冷却装置，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)内放置承载硅片的石英舟，所述箱体(1)的顶板和底板均设置有多个进气口(11)，所述进气口(11)通过进气管与进气装置连通，所述箱体(1)相对的两个侧壁上均设置有排气口(12)，所述排气口(12)通过排气管与抽气装置连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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