[实用新型]一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置

摘要

本实用新型公开了一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，包括分解器、加热器、测温热电偶、羰基镍进气管、CO/N₂进气连接管、CO进气管、N₂进气管、出气管、排废管、分解器连接管、压力计、羰基镍进气控制阀、CO/N₂进气控制阀、排废控制阀和分解处理控制阀，能控制进入高纯气瓶内的气体流量、浓度、温度，维持高纯气瓶内部压力在合理的范围内，通过采用羰基镍和CO混合气体在一定压力和温度条件下沉积镍，能在高纯气瓶内壁上沉积一层致密、连续、均匀、光滑的镀镍层，能够很好的满足高纯气瓶的镀镍需求，且能较好的解决现有技术不适用于不规则容器的镀镍均匀性问题，不仅适用于高纯气瓶内壁的镀镍，还能广泛适用于大型结构复杂物件的镀镍作业。

主权项

一种高纯气瓶内壁MOCVD镀镍装置，其特征在于：包括设置在高纯气瓶（1）外部的加热器（2），所述高纯气瓶（1）的外部侧壁上设有测温热电偶（16），所述高纯气瓶（1）的入口连接有羰基镍进气管（9）和CO/N₂进气连接管（8），所述羰基镍进气管（9）上设有羰基镍进气控制阀（10），所述CO/N₂进气连接管（8）上设有CO/N₂进气控制阀（6），所述CO/N₂进气连接管（8）连接有CO进气管（17）和N₂进气管（18），所述高纯气瓶（1）的出口连接有出气管（12），所述出气管（12）上设有压力计（15），所述出气管（12）连接有排废管（19）和分解器连接管（20），所述排废管（19）上设有排废控制阀（13），所述分解器连接管（20）上设有分解处理控制阀（14），所述分解器连接管（20）连接有分解器（3）。