[实用新型]一种刻蚀槽的盖板有效
| 申请号： | 201721561842.X | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN207458978U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杨健;党继东 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种刻蚀槽的盖板，属于太阳能电池技术领域，该刻蚀槽的盖板包括：设置于刻蚀槽上方的盖板本体，盖板本体的内壁上设有平行且间隔设置的若干个挡板；挡板的一端连接于盖板本体，另一端朝向刻蚀槽延伸，使挡板与盖板本体之间倾斜设置，并形成有一夹角。本实用新型在刻蚀槽的上方设置盖板本体，有效地防止了刻蚀槽内的药液挥发至外界环境中而浪费药液；通过在盖板本体上设置若干挡板，而挡板与盖板本体之间具有一定的夹角，使得挥发后聚集到盖板本体上的药液通过挡板的导向作用滑落至挡板最低处，最终滴落至刻蚀槽内相邻的用于传输硅片的轨道之间的间隙内，从而避免了硅片过刻的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板本体 刻蚀槽 挡板 盖板 本实用新型 硅片 太阳能电池技术 导向作用 间隔设置 倾斜设置 外界环境 药液挥发 一端连接 有效地 滴落 滑落 挥发 内壁 平行 传输 延伸 轨道 | ||
【主权项】：
一种刻蚀槽的盖板，其特征在于，包括：设置于刻蚀槽(10)上方的盖板本体(1)，所述盖板本体(1)的内壁上设有平行且间隔设置的若干个挡板(11)；所述挡板(11)的一端连接于所述盖板本体(1)，另一端朝向所述刻蚀槽(10)延伸，所述挡板(11)相对于所述盖板本体(1)倾斜设置且两者之间形成有一夹角。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
