[实用新型]一种硅片刻蚀传动结构

摘要

本实用新型涉及一种硅片刻蚀传动结构，属于太阳能电池技术领域，包括支架；传送带，其设置于所述支架上方，所述传送带的两侧均设置有锯齿；转轴，其转动连接于所述支架并位于所述支架的两端，所述传送带包裹于所述转轴的外部；辅助啮合部，分别设置于所述转轴的两端，所述辅助啮合部能够与所述锯齿啮合；及用于驱动所述转轴转动的驱动部件。通过在传送带的两侧设置辅助啮合部，能够保证传送带能够稳定地传送硅片，避免了由于传送带运行不平稳而导致硅片过刻的情况，从而提高了硅片在刻蚀时的效率。此外，本实用新型提供的硅片刻蚀传动结构安装及调整方便，解决了现有技术中由于需要安装若干细滚轮而导致安装和调整过程极为繁琐的技术问题。

主权项

一种硅片刻蚀传动结构，其特征在于，包括：支架(1)；传送带(2)，设置于所述支架(1)上方，所述传送带(2)的两侧均设置有锯齿(21)；转轴(3)，转动连接于所述支架(1)并位于所述支架(1)的两端，所述传送带(2)包裹于所述转轴(3)的外部；辅助啮合部(4)，分别设置于所述转轴(3)的两端，所述辅助啮合部(4)能够与所述锯齿(21)啮合；及驱动部件，用于驱动所述转轴(3)转动。