[实用新型]一种厚胶光刻用烘焙装置有效
| 申请号： | 201721570712.2 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN207408744U | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 姜世平;杨武;董小春;郑鑫;郭小伟 | 申请（专利权）人： | 四川云盾光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人： | 林辉轮;张玲 |
| 地址： | 610225 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种厚胶光刻用烘焙装置，包括箱体，所述箱体左端与合页固定连接，所述合页与箱门固定连接，所述箱体内部与烘焙板固定连接，所述箱体内部烘焙板下方设有盛放板，所述烘焙板与盛放板交替放置，所述烘焙板右端与分气管连接，所述分气管与第一供气管固定连接，所述第一供气管一端开口，另一端封闭，所述第一供气管的开口端与电加热箱固定连接，所述电加热箱内部设有电加热块，所述电加热箱上端与供电装置固定连接，所述供电装置与电加热块电性连接，所述电加热箱的另一端与连接管固定连接，所述连接管的另一端与气泵固定连接；本实用新型实现了对光刻板的烘焙。 | ||
| 搜索关键词： | 电加热箱 烘焙板 供气管 本实用新型 电加热块 供电装置 烘焙装置 箱体内部 分气管 连接管 盛放板 光刻 合页 厚胶 电性连接 交替放置 一端封闭 一端开口 上端 开口端 刻板 烘焙 气泵 箱门 左端 | ||
【主权项】：
1.一种厚胶光刻用烘焙装置，其特征在于，包括箱体，所述箱体左端与合页固定连接，所述合页与箱门固定连接，所述箱体内部与烘焙板固定连接，所述箱体内部烘焙板下方设有盛放板，所述烘焙板与盛放板交替放置，所述烘焙板右端与分气管连接，所述分气管与第一供气管固定连接，所述第一供气管一端开口，另一端封闭，所述第一供气管的开口端与电加热箱固定连接，所述电加热箱内部设有电加热块，所述电加热箱上端与供电装置固定连接，所述供电装置与电加热块电性连接，所述电加热箱的另一端与连接管固定连接，所述连接管的另一端与气泵固定连接。
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