[实用新型]一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置

摘要

本实用新型公开了蓝宝石晶体生长技术领域的一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，本实用新型通过设置集尘室，气流通过导流板与旋转叶接触，旋转叶转动与空气摩擦产生静电，通过静电吸附以及滤网收集原料粉末，减少进入第一旋片泵和第二旋片泵中的粉尘；设置有第一旋片泵和第二旋片泵，并通过三通阀切换，防止使用过程中第一旋片泵或是第二旋片泵出现故障导致整个装置无法使用；各管路连接处均设有连接器，取出定位销，旋转第二连接环，使连接杆移动，即可拆开管路之间的连接，简单方便；本实用新型有效减少粉尘造成的影响，安装连接以及更换维修方便，操作简单，实用性强。

主权项

1.一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置，包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵，其特征在于：所述集尘室的两侧分别设有第二抽气管和第三抽气管，第二抽气管的一端连接有第一抽气管，并通过第一抽气管连接有主炉室，所述第三抽气管的一端连接有三通管一，所述三通管一上设有三通阀，且三通管一的其余两端分别连接有进气管，并通过进气管连接有第一旋片泵和第二旋片泵，所述第一旋片泵和第二旋片泵的另一端分别连接有出气管，并通过出气管连接有三通管二，所述三通管二的一端连接有扩散泵，所述第一抽气管和第二抽气管的连接端均设有管台，且连接处设有连接器，所述连接器包括第一连接环、第二连接环和连接杆，所述第一连接环固定于第二抽气管的外壁，且第一连接环对应管台设有台槽，所述第一连接环的表面设有移动槽，所述移动槽沿圆周逐渐改变，由第一连接环的外侧逐渐向圆心靠近，同时移动槽的深度逐渐增加，所述移动槽内滑动连接有连接杆，所述第一连接环的一侧还设有第二连接环，第二连接环对应连接杆设有杆槽，所述集尘室包括集尘壳体，所述集尘壳体的进口端设有导流板，出口端设有滤网，所述导流板沿圆周固定有多个固定杆，所述固定杆的一端固定有固定环，固定杆上还转动连接有旋转叶，所述固定环与集尘壳体的内壁固定连接。