[实用新型]一种金刚石薄膜真空沉积炉装置

摘要

一种金刚石薄膜真空沉积炉装置，包括底座、炉体、上盖、沉积台总成和等离子发生器，所述的底座设置在底部，炉体设置在底座的上部，上盖设置在炉体的上部，沉积台总成设置在底座的中心上部，等离子发生器设置在上盖的中心下部；所述的炉体为圆筒结构，炉体的上下贯通，炉体为双层结构，在内层和外层之间设置有炉体水道，内层的内侧为炉体内腔，炉体的侧面设置有炉口，炉口外侧设置有炉门座；通过本实用新型的实施，达到了良好的使用效果：金刚石薄膜真空沉积炉装置有效的克服了传统的炉体温度过高的问题，极大的提高了炉体的稳定性，减少了废品的产生，并且避免了温度过高对炉体的损坏，提高了生产安全，给企业带来更高的效益。

主权项

1.一种金刚石薄膜真空沉积炉装置，其特征是：包括底座、炉体、上盖、沉积台总成和等离子发生器，所述的底座设置在底部，炉体设置在底座的上部，上盖设置在炉体的上部，沉积台总成设置在底座的中心上部，等离子发生器设置在上盖的中心下部；所述的炉体为圆筒结构，炉体的上下贯通，炉体为双层结构，在内层和外层之间设置有炉体水道，内层的内侧为炉体内腔，炉体的侧面设置有炉口，炉口外侧设置有炉门座，炉门座的座体内设置有冷却水道与炉体水道连通，炉门座外侧设置有炉门，炉体的上部端面外侧设置有上连接法兰，上连接法兰上面外侧圆周上设置有上密封圈，炉体的下部端面外侧上设置有下连接法兰，下连接法兰下面外侧圆周上设置有下密封圈，上连接法兰和下连接法兰上均设置有连接螺纹孔，炉体外层上设置有炉体进水管和炉体出水管，炉体进水管的下部设置有真空抽取管，真空抽取管与炉体内腔连通。