[实用新型]一种晶圆自动管式炉

摘要

本实用新型公开了一种晶圆自动管式炉，包括支撑架，所述支撑架的一端设置有控制台，所述支撑架的另一端底部设置有进料管，所述进料管的顶部设置有送料装置，所述送料装置的上方设置有炉体，所述炉体固定安装在支撑架上，所述炉体的底部通过进料口与送料装置连接，所述炉体的内部设置有加热腔，所述加热腔的外侧设置有环形加热器，所述环形加热器的外侧设置有保温层，所述加热腔的内部一侧设置有进气管，所述加热腔的内部另一侧设置有测温管。本实用新型通过在进料管上设置有送料装置，使得本装置可以实现自动上料，在炉体的加热腔外侧设置有环形加热器，使得本装置能够实现全方位加热，提高了本装置的工作效率。

主权项

1.一种晶圆自动管式炉，包括支撑架（1），其特征在于：所述支撑架（1）的一端设置有控制台（2），所述支撑架（1）的另一端底部设置有进料管（3），所述进料管（3）的顶部设置有送料装置（4），所述送料装置（4）的上方设置有炉体（5），所述炉体（5）固定安装在支撑架（1）上，所述炉体（5）的底部通过进料口（6）与送料装置（4）连接，所述炉体（5）的内部设置有加热腔，所述加热腔的外侧设置有环形加热器（7），所述环形加热器（7）的外侧设置有保温层（8），所述加热腔的内部一侧设置有进气管（10），所述加热腔的内部另一侧设置有测温管（11），所述保温层（8）的一侧设置有控温热偶（12），所述控温热偶（12）通过导热杆（13）与环形加热器（7）连接，所述保温层（8）的另一侧底部设置有冷风机（14），所述冷风机（14）通过风管（15）与环形加热器（7）连接，所述加热腔的顶端设置有排气管（16），所述排气管（16）远离炉体（5）的一端设置有冷却器（17），所述冷却器（17）上设置有排气口（18），所述环形加热器（7）的顶端设置有降温排风口（20）。