[实用新型]一种蒸发源系统有效
申请号: | 201721605245.2 | 申请日: | 2017-11-27 |
公开(公告)号: | CN207749179U | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
发明(设计)人: | 肖冯俊树;曾兴中;童凯;蔡瀚霆;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 杨利娟 |
地址: | 516029 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及OLED真空蒸镀工艺技术领域,具体公开了一种蒸发源系统,包括蒸发源,所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成,所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板,本实用新型通过设置驱动机构对挡板高度进行调节,实现在不开腔条件下自动调整挡板高度的功能,通过改变蒸镀角度来降低shadow的产生,解决了混色状况,提升了产品良率。 | ||
搜索关键词: | 蒸发源 挡板 本实用新型 线性蒸发源 驱动机构 开腔 真空蒸镀工艺 产品良率 线性排列 混色 蒸镀 | ||
【主权项】:
1.一种蒸发源系统,包括蒸发源,所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成,其特征在于:所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板(1)。
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