[实用新型]一种显影设备有效
申请号: | 201721609253.4 | 申请日: | 2017-11-27 |
公开(公告)号: | CN207408743U | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 侯少堃;刘永祥;桑伟;刘昌范 | 申请(专利权)人: | 固安鼎材科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 郑永胜;耿超 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本公开涉及一种显影设备,所述设备包括:旋转机台;显影液喷洒清洗机构,包括喷洒清洗喷头和用于将喷洒清洗喷头移动到所述旋转机台上方的第一喷头移动件;所述喷洒清洗喷头包括显影液喷嘴和环绕在所述显影液喷嘴外周的环形清洗液喷嘴,所述显影液喷嘴设置有显影液入口和向下开设的显影液出口,所述环形清洗液喷嘴设置有清洗液入口和清洗液出口,所述环形清洗液喷嘴清洗液出口的喷淋方向朝向所述显影液喷嘴的显影液出口。本公开的显影设备通过在显影液喷嘴的外周设置环形清洗液喷嘴,能够实现显影液喷嘴出口处和设置在旋转机台上彩色滤光片的清洗,提高喷淋稳定性和喷淋效果。 | ||
搜索关键词: | 显影液喷嘴 清洗液喷嘴 显影液 喷洒 清洗喷头 显影设备 旋转机台 喷淋 清洗液出口 外周 清洗液入口 喷头移动 清洗机构 滤光片 上彩色 出口 清洗 环绕 移动 | ||
【主权项】:
1.一种显影设备,其特征在于,所述设备包括:旋转机台(100);显影液喷洒清洗机构(200),包括喷洒清洗喷头(201)和用于将喷洒清洗喷头(201)移动到所述旋转机台(100)上方的第一喷头移动件(202);所述喷洒清洗喷头(201)包括显影液喷嘴(1)和环绕在所述显影液喷嘴(1)外周的环形清洗液喷嘴(2),所述显影液喷嘴(1)设置有显影液入口和向下开设的显影液出口,所述环形清洗液喷嘴(2)设置有清洗液入口和清洗液出口,所述环形清洗液喷嘴(2)清洗液出口的喷淋方向朝向所述显影液喷嘴(1)的显影液出口。
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