[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201721613935.2 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN207603919U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张金宇 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS麦克风。所述MEMS麦克风包括固定极板、设于所述固定极板的振动极板及连接所述固定极板与所述振动极板的弹性臂，所述固定极板包括依次叠设的第一固定电极、绝缘层、第二固定电极及贯穿所述第一固定极板、绝缘层和第二固定极板的通孔，所述振动极板嵌设于所述通孔内，其包括主体部和设于所述主体部两相对侧壁的若干个间隔设置的凸起部；所述固定极板包括自其两相对内壁分别朝其对应的外壁方向凹陷形成的若干个间隔设置的凹槽，每一所述凹槽贯通所述第一固定电极、所述绝缘层和所述第二固定电极；所述凸起部插设于所述凹槽内，并与所述凹槽一一对应。本实用新型提供的MEMS麦克风，结构简单，抗干扰性能优。 | ||
| 搜索关键词： | 固定极板 固定电极 绝缘层 振动极板 本实用新型 间隔设置 凸起部 主体部 通孔 抗干扰性能 相对侧壁 弹性臂 凹陷 插设 叠设 内壁 嵌设 外壁 贯通 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括固定极板、设于所述固定极板的振动极板及连接所述固定极板与所述振动极板的弹性臂，所述固定极板包括依次叠设的第一固定电极、绝缘层、第二固定电极及贯穿所述第一固定极板、绝缘层和第二固定极板的通孔，所述振动极板嵌设于所述通孔内，其包括主体部和设于所述主体部两相对侧壁的若干个间隔设置的凸起部；所述固定极板包括自其两相对内壁分别朝其对应的外壁方向凹陷形成的若干个间隔设置的凹槽，每一所述凹槽贯通所述第一固定电极、所述绝缘层和所述第二固定电极；所述凸起部插设于所述凹槽内，并与所述凹槽一一对应。
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