[实用新型]工件、化学气相沉积装置和插销有效
| 申请号： | 201721619938.7 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN207661172U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张明 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F16K15/02 | 分类号： | F16K15/02;F16K15/06;F16K1/32;C23C16/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种工件，所述工件包括工件本体、第一通道、升降销和第二通道。所述第一通道和所述第二通道设置在所述工件本体内，且所述第一通道和所述第二通道均与所述工件本体的外表面连通，所述第一通道与所述第二通道连通，所述工件具有第一状态和第二状态：在第一状态下，所述升降销的一端设置于所述工件本体的外表面的内侧，所述升降销的另一端设置于所述第二通道内；在第二状态下，所述升降销的一端设置于所述工件本体的外表面的外侧，所述升降销的另一端设置于所述第二通道内或者设置于所述第一通道与所述第二通道连通处。本实用新型中的工件可便于工件与零部件拆解，可避免工件在拆解中受到损伤，并可提高拆解效率。 | ||
| 搜索关键词： | 升降销 工件本体 一端设置 本实用新型 通道连通 拆解 化学气相沉积装置 插销 拆解效率 通道设置 连通 零部件 损伤 体内 | ||
【主权项】：
1.一种工件，其特征在于，包括工件本体、第一通道、升降销和第二通道，所述第一通道和所述第二通道设置在所述工件本体内，且所述第一通道和所述第二通道均与所述工件本体的外表面连通，所述第一通道与所述第二通道连通，所述工件具有第一状态和第二状态：在第一状态下，所述升降销的一端设置于所述工件本体的外表面的内侧，所述升降销的另一端设置于所述第二通道内；在第二状态下，所述升降销的一端设置于所述工件本体的外表面的外侧，所述升降销的另一端设置于所述第二通道内或者设置于所述第一通道与所述第二通道连通处。
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