[实用新型]一种过真空腔室的测温结构有效
| 申请号： | 201721625254.8 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN207585793U | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 胡庆为 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;姜溯洲 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种过真空腔室的测温结构，包括测温部件、旋转部件、设于真空腔室内的旋转盘以及设于所述真空腔室外的驱动装置，所述驱动装置与所述旋转部件连接，并驱动所述旋转部件转动，所述旋转部件延伸至所述真空腔室内与所述旋转盘连接，所述测温部件贯穿所述旋转部件，并与所述旋转盘上的待测件连接；本实用新型的过真空腔室的测温结构，通过在旋转部件内设置测温部件，并采用驱动装置带动旋转部件与旋转盘同步转动，从而保证测温部件跟随待测件运动，防止测温部件的接线端松动，有效提高测温结构的整体可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转部件 测温部件 旋转盘 测温 驱动装置 真空腔室 真空腔 本实用新型 待测件 整体可靠性 室内 带动旋转 同步转动 接线端 松动 转动 室外 驱动 贯穿 延伸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种过真空腔室的测温结构，其特征在于，包括测温部件(1)、旋转部件(5)、设于真空腔室内的旋转盘(2)以及设于所述真空腔室外的驱动装置(3)，所述驱动装置(3)与所述旋转部件(5)连接，并驱动所述旋转部件(5)转动，所述旋转部件(5)延伸至所述真空腔室内与所述旋转盘(2)连接，所述测温部件(1)贯穿所述旋转部件(5)，并与所述旋转盘(2)上的待测件(6)连接。
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