[实用新型]多层基片归正装置

摘要

本实用新型公开了一种多层基片归正装置，包括：驱动单元、长轴以及多个基片归正机构；所述基片归正机构包括：安装座、归正板以及连杆组件；所述归正板设有两个归正销，并且所述安装座设有限位部件，当所述驱动单元驱动所述长轴转动，使所述连杆组件驱动所述归正板绕所述销轴的轴线转动至与所述限位部件相抵时，所述归正销分别抵靠在基片的两个邻边上，从而可稳定地对多层基片的位置同时进行归正，有效地提升了生产效率的同时，确保后续工序中基片不会由于位置偏移导致刮碰、跌落或破碎等生产事故。

主权项

一种多层基片归正装置，其特征在于，包括：驱动单元、长轴以及多个基片归正机构；所述长轴竖置于工艺腔室内，所述基片归正机构穿设在所述长轴上，并在各所述基片归正机构之间按照工艺腔室内各层基片的间距设置间隙；所述驱动单元包括驱动主体和驱动输出轴，所述驱动主体设置在工艺腔室外，所述驱动输出轴的一端与所述驱动主体连接，所述驱动输出轴的另一端与工艺腔室内的所述长轴连接；所述基片归正机构包括：安装座、归正板以及连杆组件；所述安装座设有第一轴承，所述安装座通过所述第一轴承穿设在所述长轴上，且所述第一轴承与所述长轴在配合处固接；所述安装座的一端与工艺腔室的内壁固接，所述安装座远离所述内壁的一端设有与所述长轴平行的销轴，所述归正板通过所述销轴与所述安装座铰接；所述连杆组件的两端分别与所述长轴和所述归正板连接；所述归正板设有两个归正销，并且所述安装座设有限位部件，当所述驱动单元驱动所述长轴转动，使所述连杆组件驱动所述归正板围绕所述销轴的轴线转动至与所述限位部件相抵时，所述归正销分别抵靠在基片的两个邻边上。