[实用新型]曝光机有效
申请号: | 201721631748.7 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN207516723U | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 章勇;黄顺宏;闫明超;罗卫;朱广飞 | 申请(专利权)人: | 深圳市柔宇科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种曝光机。曝光机可用于照射玻璃基板,玻璃基板包括玻璃层和偏振膜层。曝光机包括承载台、光发生器和起偏器。承载台可用于承载玻璃基板。光发生器用于向承载台发射光线。起偏器设置在光发射器和承载台之间。当玻璃基板承载在承载台上,且偏振膜层位于玻璃层与承载台之间时,光发生器发出的光线依次穿过起偏器和玻璃层后到达偏振膜层,起偏器的偏振方向与偏振膜层的偏振方向垂直。当偏振膜层位于玻璃层与承载台之间时,由于起偏器的偏振方向与偏振膜层的偏振方向垂直,穿过起偏器和玻璃层的光线不能穿过偏振膜层,不会被承载台反射,玻璃基板被光线照射的强度较均匀。 | ||
搜索关键词: | 偏振膜层 承载台 起偏器 玻璃层 玻璃基板 曝光机 光发生器 偏振方向垂直 承载 穿过 可用 偏振 照射玻璃基板 本实用新型 发射光线 光发射器 光线照射 反射 | ||
【主权项】:
1.一种曝光机,用于照射玻璃基板,所述玻璃基板包括玻璃层和偏振膜层,其特征在于,所述曝光机包括:承载台,所述承载台用于承载所述玻璃基板;光发生器,所述光发生器用于向所述承载台发射光线;和起偏器,所述起偏器设置在所述光发生器与所述承载台之间,当所述玻璃基板承载在所述承载台上且所述偏振膜层位于所述玻璃层与所述承载台之间时,光线依次穿过所述起偏器和所述玻璃层后到达所述偏振膜层,所述起偏器的偏振方向与所述偏振膜层的偏振方向垂直。
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