[实用新型]一种灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201721645790.4 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207425793U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 毕凯 | 申请（专利权）人： | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 姚海波 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种灯丝结构，包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头，所述上连接轴穿过上轴承，所述下连接轴与下轴承连接，所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间，所述第一连接头与下连接轴电性连接，所述下连接轴与灯丝电性连接。如此取消了线缆的电位连接方式及壳体开孔，因此无需开孔、完全封闭，氩气、离子和电子不会泄露，避免了氩气浪费、环境污染及安全事故。本实用新型还提供了一种工件清洗设备及一种真空镀膜设备。 | ||
| 搜索关键词： | 下连接轴 上连接轴 灯丝 工件清洗设备 真空镀膜设备 氩气 灯丝结构 电性连接 上轴承 下轴承 本实用新型 安全事故 电位连接 壳体开孔 完全封闭 连接头 开孔 线缆 离子 泄露 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种灯丝结构，其特征在于：所述灯丝结构包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头，所述上连接轴穿过上轴承，所述下连接轴与下轴承连接，所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间，所述第一连接头与下连接轴电性连接，所述下连接轴与灯丝电性连接。
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