[实用新型]一种晶圆管芯通态压降的测量电路有效
| 申请号： | 201721650655.9 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN207488356U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 宋利鹏;郝瑞庭;刘惠鹏 | 申请（专利权）人： | 北京华峰测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 100070 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种晶圆管芯通态压降的测量电路，其中，待测晶圆包括多颗管芯；该测量电路包括至少两个电流源模块、至少两个电压表模块和探针台吸盘；一电流源模块、一电压表模块与一颗管芯一一对应；多颗管芯的第一端相连，并通过待测晶圆的背面的公共电极与探针台吸盘相连；每个电流源模块的第一端与其对应的管芯的第二端连接，电流源模块的第二端与探针台吸盘连接；每个电压表模块的第一端与其对应的管芯的第二端连接，电压表模块的第二端与探针台吸盘连接；每个电流源模块包括一电流源；每个电压表模块包括一电压表。本实用新型实施例可以提高晶圆管芯通态压降测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 管芯 电流源模块 电压表模块 探针台 测量电路 通态压降 晶圆 吸盘 本实用新型 吸盘连接 第一端 圆管 种晶 公共电极 电流源 电压表 测量 | ||
【主权项】：
一种晶圆管芯通态压降的测量电路，其特征在于，待测晶圆包括多颗管芯；所述测量电路包括至少两个电流源模块、至少两个电压表模块和探针台吸盘；每个所述电流源模块与一颗所述管芯对应；每个所述电压表模块与一颗所述管芯对应；所述管芯包括第一端和第二端；其中，所述多颗管芯的第一端相连，并通过所述待测晶圆的背面的公共电极与所述探针台吸盘相连；每个所述电流源模块的第一端与其对应的管芯的第二端连接，所述电流源模块的第二端与所述探针台吸盘连接；每个所述电压表模块的第一端与其对应的管芯的第二端连接，所述电压表模块的第二端与所述探针台吸盘连接；每个所述电流源模块包括一电流源；每个所述电压表模块包括一电压表。
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