[实用新型]一种用于石英舟装卸片机的石英舟

摘要

本实用新型公开了一种用于石英舟装卸片机的石英舟，涉及石英舟领域。本实用新型包括位于底部的支撑底座，位于支撑底座上部且对应设置的若干个左固定杆与右固定杆，与左固定杆活动连接的两个左支撑杆，与右固定杆活动连接的两个右支撑杆，与对应的左支撑杆和右支撑杆连接的若干个侧支撑条；所述左固定杆与右固定杆之间设有若干个平行的支撑条，左固定杆与右固定杆朝向所述支撑条的侧面开设有多个间隔分布的第一凹槽，所述若干个支撑条开设有多个间隔分布的第二凹槽。本实用新型的石英舟结构简单可靠，提高了石英舟装卸机的工作效率。

主权项

1.一种用于石英舟装卸片机的石英舟，其特征在于：包括位于底部的支撑底座(1)，位于支撑底座(1)上部且对应设置的若干个左固定杆(2)与右固定杆(3)，与左固定杆(2)活动连接的两个左支撑杆(4)，与右固定杆(3)活动连接的两个右支撑杆(5)，与对应的左支撑杆(4)和右支撑杆(5)连接的若干个侧支撑条(6)；所述左固定杆(2)与右固定杆(3)之间设有若干个平行的支撑条(7)，左固定杆(2)与右固定杆(3)朝向所述支撑条(7)的侧面开设有多个间隔分布的第一凹槽(8)，所述若干个支撑条(7)开设有多个间隔分布的第二凹槽(9)，所述第一凹槽(8)与第二凹槽(9)共同界定出用于容置多块硅片的多个容置空间；所述左固定杆(2)、右固定杆(3)、支撑条(7)的长度大于两个左支撑杆(4)或两个右支撑杆(5)间的距离。